流动性方面，半导体设备ETF华夏盘中换手6.35%，成交1.80亿元。拉长时间看，截至2月2日，半导体设备ETF华夏近1周日均成交2.48亿元。

　　资金流入方面，半导体设备ETF华夏最新资金净流出5419.15万元。拉长时间看，近10个交易日内有8日资金净流入，合计“吸金”2.08亿元，日均净流入达2081.40万元。（数据来源：Wind）

　　数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF华夏最新融资买入额达495.15万元，最新融资余额达2653.01万元。（数据来源：Wind）

　　跟踪精度方面，截至2026年2月2日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.010%，在可比基金中跟踪精度最高。

　　半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本财经热点，反映半导体材料和设备上市公司的整体表现。涨超3.3%，半导体设备ETF华夏(562590)近10个交易日净流入2.08亿元