《半导体洁净室性能检测评价方法》团体标准发布 华康洁净参编
洁净室性能评价的通用要求、评价内容、评价结论与等级及检测报告财经热点,涵盖洁净度、温度、相对湿度、风速、风量、静压差、照度、噪声等共性技术指标,以及气流流型、过滤器标准渗漏过滤率、微振动、防静电、化学污染物、气密性等特性技术指标,为半导体洁净室的性能检测与评价提供了系统化、规范化的技术依据,也为半导体企业选择合适的洁净室供应商提供了重要参考,有助于推动整个行业向更加规范、高效的方向发展。
表示,作为该标准的核心参编单位之一,公司深度参与半导体洁净室标准体系的构建,彰显了硬核的技术实力。《半导体洁净室性能检测评价方法》团体标准发布 华康洁净参编