近日，清华大学化学系许华平教授团队在极紫外（EUV）光刻材料上取得了重要进展，成功开发出一种基于聚碲氧烷（Polytelluoxane， PTeO）的新型光刻胶。这一成果为先进半导体制造中的关键材料提供了全新的设计策略。

　　光刻胶是半导体制造过程中的关键材料，在光照下会发生化学反应。在芯片制造流程中，将光刻胶均匀涂布在硅片表面，利用光掩膜进行曝光，再经过一系列化学处理和洗涤工序，把需要加工的芯片图形精准转移至硅片表面，从而实现芯片产品的精密加工和制造。光刻胶不仅是半导体生产线必不可少的工具，更是实现微米级别精密加工的关键材料，能够有效控制芯片制造的精度和质量，确保芯片产品具备高品质、高稳定性和高性能。

　　随着集成电路工艺向7nm及以下节点不断推进，13。5 nm波长的EUV光刻成为实现先进芯片制造的核心技术。但EUV光源反射损耗大、亮度低等特点，对光刻胶在吸收效率、反应机制和缺陷控制等方面提出了更高挑战。当前主流EUV光刻胶多依赖化学放大机制或金属敏化团簇来提升灵敏度，但常面临结构复杂、组分分布不均、反应容易扩散、容易引入随机缺陷等问题。如何突破这些瓶颈，构建理想光刻胶体系，成为当前EUV光刻材料领域的核心挑战。

　　理想的EUV光刻胶应具备高EUV吸收能力、高能量利用效率、分子尺度的均一性以及尽可能小的构筑单元。长期以来，鲜有材料体系能够同时满足这四个标准。许华平教授课题组基于团队早期发明的聚碲氧烷，成功开发出一种全新的EUV光刻胶，完美满足了上述条件。在研究中，团队将高EUV吸收元素碲通过Te─O键直接引入高分子骨架中。碲具有除惰性气体元素氙、氡和放射性元素砹之外最高的EUV吸收截面，其EUV吸收能力远高于传统光刻胶中的短周期元素和Zn、Zr、Hf和Sn等金属元素，显著提升了光刻胶的EUV吸收效率。Te─O键较低的解离能在吸收EUV后可直接发生主链断裂，诱导溶解度变化，从而实现高灵敏度的正性显影。这一光刻胶仅由单组份小分子聚合而成，在极简的设计下实现了理想光刻胶特性的整合，为构建下一代EUV光刻胶提供了清晰且可行的路径。

　　李先生一家没想到，3岁女儿的持续咳嗽竟然与客厅里堆积如山的快递箱有关。经专业机构检测，他们家的甲醛浓度超标5倍，而这些看似无害的快递包装正是罪魁祸首。

　　环境检测专家对市面上常见的快递包装进行了专项检测。结果显示，某品牌快递纸箱的甲醛释放量为0。56mg/m³，超标7倍；常见尼龙快递袋的甲醛释放量为0。43mg/m³，超标5。4倍；彩色包装盒的甲醛释放量最高达0。82mg/m³，超标10倍。国家标准规定室内甲醛浓度应不超过0。08mg/m³。

　　这些包装中隐藏着健康杀手。劣质粘合剂为了节省成本使用含甲醛胶水，彩色印刷包装因油墨污染导致甲醛含量更高，部分纸箱添加甲醛作为防腐剂，尼龙袋遇热会加速甲醛释放。

　　如果出现眼睛刺痛、流泪、咽喉不适、咳嗽、皮肤红疹、头晕、乏力或记忆力减退等症状，可能是甲醛中毒的征兆。

　　专家建议采取以下措施远离“包装毒害”：新到的快递应在阳台通风处放置24小时；使用剪刀拆封，避免直接用手撕咬；拆完快递当天就要清理包装；孕妇和儿童房间严禁堆放快递箱；自备环保袋购物，减少快递包装接触。

　　杭州王女士因长期在家做电商，堆积大量快递包装，半年后查出白细胞异常。经检测，其工作区域甲醛浓度超标8倍。夏季高温会加速甲醛释放，现在正是最危险的时候。请立即检查家中是否堆积快递包装，为了家人健康，请及时清理，并转发提醒更多人远离这个“隐形杀手”。