力合科技：目前公司在半导体AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥

1个月前 (03-18)财经热点3

　　AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案财经热点，监测原理暂未使用到化学电离飞行时间质谱法。力合科技：目前公司在半导体AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案

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